真空泵有哪幾種

按照原理分類

氣體輸送泵：顧名思義，氣體輸送泵就是將一個密閉空間內的氣體輸送至外部或其他容器內的機器，從而使封閉空間內氣壓降低，獲得真空，例如水環泵、無油柱塞泵、旋片油封泵等。

氣體捕集泵：是一種將被抽氣體吸附或凝結在泵內表面的真空泵，一般採用化學或物理化學的方法將氣體體積減小，從而獲得真空。

按照真空度分類

粗真空度：工業及實驗室使用的水環式真空泵就是此類粗真空度泵，一般真空度為10E5~10E-1Pa。

高真空度：常用的油封泵為這類級別，一般真空度為10E-1~10E-6Pa。

超高真空度：氣體捕集泵一般為這種型別，真空度能夠達到10E-6~10E-9Pa。